晶合集成获得发明专利授权：“磷酸蚀刻液回收方法及蚀刻方法”
专利摘要：本发明提供了一种磷酸蚀刻液回收方法及蚀刻方法，所述磷酸蚀刻液回收方法包括：提供一蚀刻槽，所述蚀刻槽中装有多次蚀刻后的磷酸蚀刻液，所述磷酸蚀刻液中溶解有第一浓度的含硅化合物，所述磷酸蚀刻液具有第一温度；将载板放置于所述磷酸蚀刻液中；将所述磷酸蚀刻液降温至第二温度，以使得所述磷酸蚀刻液中溶解的所述含硅化合物析出附着在所述载板表面；将所述载板从所述磷酸蚀刻液中移出；将所述磷酸蚀刻液重新加热至所述第一温度，且所述磷酸蚀刻液中溶解的所述含硅化合物的浓度降低至第二浓度。本发明的技术方案能够提高磷酸蚀刻液的使用寿命，进而降低工艺成本及废酸排放。
今年以来晶合集成新获得专利授权231个，较去年同期增加了89.34%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。
数据来源：企查查
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